根据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》等有关规定，对苏州惟清半导体有限公司第三代半导体高端光电器件晶圆生产及功率器件晶圆研发项目（第一阶段）竣工日期及调试起止日期进行信息公示，使项目建设可能影响区域环境内的公众对项目建设情况有所了解，并通过公示了解社会公众对本项目的态度和建议，接受社会公众的监督。

一、 建设项目情况简述

苏州惟清半导体有限公司于2023年9月28日成立，由功率芯片设计领军企业清纯半导体有限公司与化合物半导体光电芯片龙头企业长光华芯共同出资成立，专注于第三代半导体功率芯片研发生产制造，项目总投资额50亿元，一期项目投资5亿元，于苏州高新区科技城工业坊A区2号楼101、102、203建设“第三代半导体高端光电器件晶圆生产及功率器件晶圆研发项目”，年产硅基氮化镓光电器件晶圆5万片、年研发碳化硅基氮化镓功率器件晶圆2400片。

本项目光电器件晶圆、功率器件晶圆定位为高端产品，用于特定的光电器件及功率器件，这些器件在新能源汽车、消费电子、通讯、医疗和科研等领域有着广泛的应用，因此本项目晶圆尺寸定位在2-3寸，更适合定制化需求，能够提供更灵活的设计和更高的定制化程度。

2023年12月25日，本项目已取得苏州高新区(虎丘区)行政审批局审批的《江苏省投资项目备案证》（备案证号：苏高新项备[2023]585号）。

本项目环评审批过程：2024年12月，企业委托苏州市宏宇环境科技股份有限公司编制了《苏州惟清半导体有限公司第三代半导体高端光电器件晶圆生产及功率器件晶圆研发项目环境影响报告表》，并2025年1月24日取得苏州高新区管委会的环评批复（审批文号：苏高新管环审[2025]016号）。

验收工作的开展：2025年9月，苏州惟清半导体有限公司对其建成运行“苏州惟清半导体有限公司第三代半导体高端光电器件晶圆生产及功率器件晶圆研发项目”进行自主验收工作，本项目开工时间2025年2月，竣工及调试时间2025年10月31日。

二、 建设单位调试时产生的污染物及措施简述

（一）废水

本项目生产废水主要来自栅氧前清洗、金属化前清洗、金属腐蚀、其他腐蚀、去胶、减薄、背面刻蚀&清洗、背金开槽、刀轮划片、划片清洗、备件/设备/控片清洗工序、研磨工序、冷却塔及纯水制备，上述清洗废水分质收集，分质处理，有机废水经“AO+二沉池”装置处理后进入“酸碱中和”装置；研磨废水经混凝沉淀装置处理后进入“酸碱中和”装置；含氮、含氟废水经“含氟一级反应池+二级反应池+除氟树脂”+“锰砂过滤+一级吹脱+二级吹脱”装置处理后进入“酸碱中和”装置，一般酸洗废水直接进入“酸碱中和”装置，清洗废水中纯水清洗工序中50%后道清洗水经中水回用装置处理后回用，其余50%纯水清洗废水进入“酸碱中和”装置，上述处理后的清洗废水与冷却塔强制排水及制纯浓水一起经生产废水排放口DW005排放。

生产废水与生活污水混合后再经租赁厂区总排放口DW001接管至市政污水管网，最终由科技城水质净化厂集中处理达标后排入浒光运河。

（二）废气

本项目废气主要为酸性废气、碱洗废气及有机废气，有机废气经密闭空间负压收集后再经二级活性炭吸附装处理后经25m高DA001排气筒排放；碱性废气经密闭空间负压收集后再经酸液喷淋塔处理后经25m高DA002排气筒排放；CVD、氧化、干法刻蚀工序产生的酸性废气经设备自带尾气处理设施处理后（其中热氧气废气经“电热水洗装置”处理，CVD废气与干法刻蚀废气经“等离子体点火燃烧水洗装置”处理，离子注入废气经“化学干式吸附”处理）再与经密闭空间负压收集的其他酸性废气一起接入碱液喷淋塔，经处理后经25m高DA003、DA004、DA005排放（两两组合排放）。

（三）噪声

本项目噪声源主要为风机、全自动减薄机等生产设备运行时产生的噪声，通过合理布局、日常维护和保养、防震、隔声等措施后，项目噪声排放符合相应排放限值要求。

（四）固体废弃物

本项目不合格品、纯水制备滤材、废靶材由供应商回收利用；一般废包装、生活垃圾委托苏州康华城市垃圾清运有限公司处理；有机污泥、含氟污泥委托苏州惠新普环保科技有限公司处理；废酸液、废碱液、硫酸铵废液、废汞灯委托中新和顺环保（江苏）有限公司处置；废滤芯、废去光胶剂、废显影液、废光刻胶、无尘布、危险废包装、废砂、设备自带废气处理废液、废活性炭、除氟废树脂、异丙醇废液、乙二醇废液、丙酮废液委托中新苏伊士环保技术（苏州）有限公司处置，实现固废零排放，不会造成二次污染问题。

三、竣工日期及调试起止日期

1、竣工日期：2025年10月31日；

2、调试起止日期：2025年10月31日—2026年1月29日。

四、征求公众意见的范围：

关注本项目建设项目和周边环境影响区域内居民、单位等公众。

五、公众反馈方式：

公众可采取向公示指定地址发送信函、电子邮电等方式，发表对该工程竣工的意见和看法，发表意见的同时请提供详细的联系方式，建设单位将听取公众的意见对建设项目进行整改。

六、建设单位名称及联系方式：

建设单位名称：苏州惟清半导体有限公司

通讯地址：苏州高新区科技城工业坊A区2号楼101、102、203

联系人：陈工

电话：0512-68651286

邮箱：zqc@sichainsemi.com